低溫真空探針臺是一款(kuan)為晶片、器件和(he)(he)材料(liao)（薄膜(mo)、納米(mi)、石(shi)墨烯、電(dian)(dian)子材料(liao)、超導(dao)材料(liao)、鐵電(dian)(dian)材料(liao)等）提供真空和(he)(he)低(di)溫測(ce)(ce)試條件下(xia)進行非破壞(huai)性的電(dian)(dian)學(xue)表(biao)征和(he)(he)測(ce)(ce)量平臺(tai)。可以對(dui)材料(liao)或器件進行電(dian)(dian)學(xue)特性測(ce)(ce)量、光電(dian)(dian)特性測(ce)(ce)量、參數(shu)測(ce)(ce)量、高阻(zu)測(ce)(ce)量、DC測(ce)(ce)量、RF測(ce)(ce)量和(he)(he)微波(bo)特性測(ce)(ce)量，

    低溫真空探針臺廣泛應用(yong)于半導體工業（芯(xin)片、晶圓(yuan)片、封裝(zhuang)器件）、MEMS、超導、電子學、物(wu)理學和材料學等領(ling)域。為了提(ti)高(gao)系統的實用(yong)性，系統還可以(yi)提(ti)供3.2K的溫度擴(kuo)展選件、振動隔離裝(zhuang)置、LN2杜(du)瓦、高(gao)放大倍數的顯(xian)微鏡、分子泵機組、熱輻射屏的溫度控制裝(zhuang)置、探針臂的光(guang)纖電纜、光(guang)學樣品架等選件。

   KT-Z1604T探(tan)針(zhen)臺主要(yao)應用于傳感器，半導體，光電，集成(cheng)電路(lu)以及封裝的(de)測(ce)(ce)試。 廣(guang)泛應用于復雜(za)、高速器件的(de)精密電氣(qi)測(ce)(ce)量(liang)的(de)研(yan)發，旨在確保(bao)質量(liang)及可(ke)靠性，并縮減研(yan)發時間和器件制造工藝(yi)的(de)成(cheng)本。

     該探(tan)針臺(tai)的承載臺(tai)為60x60不銹鋼臺(tai)面(mian)，臺(tai)面(mian)可(ke)(ke)升(sheng)溫到350℃。真(zhen)(zhen)空腔體設計有(you)進氣口和抽(chou)真(zhen)(zhen)空接口。探(tan)針臂為X/Y/Z三(san)軸移動(dong)，三(san)個方(fang)向(xiang)均可(ke)(ke)在(zai)真(zhen)(zhen)空環(huan)境下精密移位調(diao)(diao)節(jie)(jie)，其中(zhong)X方(fang)向(xiang)調(diao)(diao)節(jie)(jie)范(fan)圍：0－30mm；y方(fang)向(xiang)調(diao)(diao)節(jie)(jie)范(fan)圍：0－20mm；z方(fang)向(xiang)調(diao)(diao)節(jie)(jie)范(fan)圍：0－20mm；用戶可(ke)(ke)根據需(xu)要自行調(diao)(diao)節(jie)(jie)。使用時(shi)將需(xu)檢測的器(qi)件固定在(zai)加熱臺(tai)上，再微調(diao)(diao)探(tan)針支架X/Y/Z 方(fang)向(xiang)行程，通(tong)過顯微鏡觀察，使探(tan)針對準檢測點后(hou)，即可(ke)(ke)進行檢測