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Product CenterKT-Z1650PVD是一(yi)款小(xiao)型(xing)臺(tai)式濺射功(gong)率可(ke)控磁控濺射儀(yi),儀(yi)器雖小(xiao)功(gong)能齊全,配備有電(dian)壓 電(dian)流反(fan)饋,樣(yang)品臺(tai)旋轉,樣(yang)品高度(du)調節(jie),及電(dian)動擋板功(gong)能。通(tong)過定時(shi)調節(jie)預濺射功(gong)率及薄膜沉(chen)積功(gong)率,可(ke)對大部分金屬進行均勻物理沉(chen)積,真空腔室為透(tou)明石(shi)英(ying)玻(bo)璃減少樣(yang)品污(wu)染,樣(yang)品臺(tai)可(ke)旋轉以獲得(de)更均勻的薄膜,可(ke)制備各(ge)種(zhong)金屬薄膜。
品牌 | 助藍科技 | 濺射氣體 | 詳詢 |
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樣品臺尺寸 | 詳詢mm | 控制方式 | 詳詢 |
樣品倉尺寸 | 詳詢mm | 靶材尺寸 | 詳詢mm |
靶材材質 | 詳詢 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子 |
KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀(yi)器雖小功能(neng)齊全(quan),配(pei)備有電(dian)壓(ya) 電(dian)流反饋,樣(yang)(yang)品臺(tai)旋轉,樣(yang)(yang)品高度(du)調節(jie),及電(dian)動擋(dang)板功能(neng)。通(tong)過定時調節(jie)預濺射功率(lv)及薄膜沉(chen)積(ji)功率(lv),可(ke)對大部分金(jin)屬進行均(jun)勻(yun)物理沉(chen)積(ji),真空腔室為透明石英玻璃(li)減少樣(yang)(yang)品污染(ran),樣(yang)(yang)品臺(tai)可(ke)旋轉以(yi)獲得更(geng)均(jun)勻(yun)的薄膜,可(ke)制備各種(zhong)金(jin)屬薄膜。
目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品,產品囊括實驗電爐 CVD供氣系統 等離子清洗機 小型離子濺射儀 磁控濺射儀 石英管真空封口 半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。
公(gong)(gong)司(si)與(yu)國(guo)內(nei)高(gao)校(xiao),科(ke)研院所有多層(ceng)次的(de)合(he)作(zuo)關(guan)系,建有開放(fang)實(shi)驗室(shi),相關(guan)領域的(de)教授(shou)、高(gao)級工(gong)(gong)程師、博士(shi)參與(yu)公(gong)(gong)司(si)產品(pin)(pin)的(de)研究和開發(fa)。我們秉(bing)承公(gong)(gong)司(si)的(de)發(fa)展理(li)念(nian),依靠嚴謹的(de)技術研發(fa)能(neng)力,科(ke)學合(he)理(li)的(de)生(sheng)產工(gong)(gong)藝(yi),精益(yi)求(qiu)精的(de)制造要求(qiu),全心(xin)全意做好(hao)產品(pin)(pin)質量(liang)和服(fu)務工(gong)(gong)作(zuo),科(ke)探儀器時刻懷著一顆真誠的(de)心(xin)期(qi)待與(yu)您的(de)合(he)作(zuo)。
控制方式 | 7寸人(ren)機界面 手動(dong)(dong) 自動(dong)(dong)模式(shi)切(qie)換控制(zhi) |
濺(jian)射(she)電(dian)源 | 40KHz濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段(duan)可變換(huan)功率及擋板位和樣品(pin)速度程序 |
大功率 | ≤1000W |
大輸出電(dian)(dian)壓電(dian)(dian)流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
極限真空 | 機械(xie)泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空(kong)腔室(shi) | 石英+不(bu)銹鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuan)φ62 (大(da)可安裝φ50基底) |
樣(yang)品臺轉速 | 8轉(zhuan)/分鐘 |
樣品濺射源(yuan)調節距離 | 40-105mm |
真空(kong)測量(liang) | 皮拉尼(ni)真(zhen)空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真(zhen)空接(jie)口 | KF25抽(chou)氣口(kou) KF16放氣口(kou) 6mm卡(ka)套進氣口(kou) |