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磁控濺射儀

產品簡介

KT-Z1650PVD是一(yi)款小(xiao)型(xing)臺(tai)式濺射功(gong)率可(ke)控磁控濺射儀(yi),儀(yi)器雖小(xiao)功(gong)能齊全,配備有電(dian)壓 電(dian)流反(fan)饋,樣(yang)品臺(tai)旋轉,樣(yang)品高度(du)調節(jie),及電(dian)動擋板功(gong)能。通(tong)過定時(shi)調節(jie)預濺射功(gong)率及薄膜沉(chen)積功(gong)率,可(ke)對大部分金屬進行均勻物理沉(chen)積,真空腔室為透(tou)明石(shi)英(ying)玻(bo)璃減少樣(yang)品污(wu)染,樣(yang)品臺(tai)可(ke)旋轉以獲得(de)更均勻的薄膜,可(ke)制備各(ge)種(zhong)金屬薄膜。

產品型號:
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:6221
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品牌助藍科技濺射氣體詳詢
樣品臺尺寸詳詢mm控制方式詳詢
樣品倉尺寸詳詢mm靶材尺寸詳詢mm
靶材材質詳詢價格區間面議
產地類別國產應用領域電子

KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀(yi)器雖小功能(neng)齊全(quan),配(pei)備有電(dian)壓(ya) 電(dian)流反饋,樣(yang)(yang)品臺(tai)旋轉,樣(yang)(yang)品高度(du)調節(jie),及電(dian)動擋(dang)板功能(neng)。通(tong)過定時調節(jie)預濺射功率(lv)及薄膜沉(chen)積(ji)功率(lv),可(ke)對大部分金(jin)屬進行均(jun)勻(yun)物理沉(chen)積(ji),真空腔室為透明石英玻璃(li)減少樣(yang)(yang)品污染(ran),樣(yang)(yang)品臺(tai)可(ke)旋轉以(yi)獲得更(geng)均(jun)勻(yun)的薄膜,可(ke)制備各種(zhong)金(jin)屬薄膜。

     目前公司已研發生產產品十多個系列幾十款產品,產品囊括實驗電爐   CVD供氣系統   等離子清洗機   小型離子濺射儀   磁控濺射儀 石英管真空封口   半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究,廣銷于各大院校,及材料研究所。

     公(gong)(gong)司(si)與(yu)國(guo)內(nei)高(gao)校(xiao),科(ke)研院所有多層(ceng)次的(de)合(he)作(zuo)關(guan)系,建有開放(fang)實(shi)驗室(shi),相關(guan)領域的(de)教授(shou)、高(gao)級工(gong)(gong)程師、博士(shi)參與(yu)公(gong)(gong)司(si)產品(pin)(pin)的(de)研究和開發(fa)。我們秉(bing)承公(gong)(gong)司(si)的(de)發(fa)展理(li)念(nian),依靠嚴謹的(de)技術研發(fa)能(neng)力,科(ke)學合(he)理(li)的(de)生(sheng)產工(gong)(gong)藝(yi),精益(yi)求(qiu)精的(de)制造要求(qiu),全心(xin)全意做好(hao)產品(pin)(pin)質量(liang)和服(fu)務工(gong)(gong)作(zuo),科(ke)探儀器時刻懷著一顆真誠的(de)心(xin)期(qi)待與(yu)您的(de)合(he)作(zuo)。



控制方式

7寸人(ren)機界面 手動(dong)(dong) 自動(dong)(dong)模式(shi)切(qie)換控制(zhi)

濺(jian)射(she)電(dian)源

40KHz濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段(duan)可變換(huan)功率及擋板位和樣品(pin)速度程序

大功率

≤1000W

大輸出電(dian)(dian)壓電(dian)(dian)流

電壓≤1000V  電流≤1A

極限真空

機械(xie)泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空(kong)腔室(shi)

石英+不(bu)銹鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuan)φ62  (大(da)可安裝φ50基底)

樣(yang)品臺轉速

8轉(zhuan)/分鐘

樣品濺射源(yuan)調節距離

40-105mm

真空(kong)測量(liang)

皮拉尼(ni)真(zhen)空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真(zhen)空接(jie)口

KF25抽(chou)氣口(kou)    KF16放氣口(kou)   6mm卡(ka)套進氣口(kou)





 

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