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產品簡介
微型真(zhen)(zhen)空(kong)探(tan)針臺(tai)設計有(you)進氣(qi)口和抽真(zhen)(zhen)空(kong)接(jie)口其真(zhen)(zhen)空(kong)度(du)用機(ji)械(xie)泵(beng)可(ke)(ke)達＜5Pa分子泵(beng)可(ke)(ke)達＜-3Pa。真(zhen)(zhen)空(kong)信號(hao)連接(jie)處(chu)使用高(gao)級真(zhen)(zhen)空(kong)電(dian)(dian)極(ji)信號(hao)接(jie)頭，保證氣(qi)密性及抗干擾性能。使用時將(jiang)需將(jiang)待檢(jian)測(ce)(ce)的器件方在加熱臺(tai)面(mian)，探(tan)針尖處(chu)由3軸(zhou)可(ke)(ke)移(yi)動(dong)探(tan)針手動(dong)調(diao)節移(yi)動(dong)至被(bei)測(ce)(ce)試器件的引(yin)腳處(chu)，外部(bu)信號(hao)線連接(jie)測(ce)(ce)試儀(yi)器來測(ce)(ce)試電(dian)(dian)學信號(hao)。
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一、應用領域：東北供應微型真空探針臺主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
二、作用(yong)原理：有進氣口和抽真(zhen)空接口其真(zhen)空度用(yong)機械泵可(ke)達＜5Pa分子泵可(ke)達＜-3Pa。真(zhen)空信號連接處使用(yong)高級真(zhen)空電極(ji)信號接頭(tou)，保證氣密性及抗干擾性能。使用(yong)時(shi)將需將待檢測(ce)的(de)器(qi)件(jian)方(fang)在加熱臺面，探(tan)針尖處由(you)3軸(zhou)可(ke)移動(dong)探(tan)針手動(dong)調節移動(dong)至被測(ce)試器(qi)件(jian)的(de)引(yin)腳處，外部信號線連接測(ce)試儀器(qi)來(lai)測(ce)試電學信號。
三、微型真空探針臺技術參數：
| 溫控(kong)器(qi) | |
| 加熱(re)溫度 | 35-400℃ 注意(yi)：熱(re)臺溫度和樣(yang)品溫度存在(zai)偏差 客戶可用PT100熱(re)電阻(zu)貼在(zai)和樣(yang)品接(jie)近的樣(yang)品臺面測量熱(re)電阻(zu)值(zhi)對應分度值(zhi)做校準。 |
| 溫控(kong)誤差(cha) | ±1℃ |
| 熱(re)電偶類型 | PT100高(gao)精度傳感(gan)器(qi) |
| 溫控表(biao) | 宇(yu)電PID溫(wen)控(kong)器 |
| 程序控溫 | 1段（可選30段程序控溫表） |
| 加熱功率 | ≤300W |
| 加(jia)熱(re)電(dian)源 | AC220v |
| 尺寸 | 230x230x125MM |
| 重量 | 6kg |
| 真空(kong)探針熱臺(tai) | |
| 腔體材質 | 304不(bu)銹鋼 |
| 加工方式 | 一體式CNC精加工 |
| 內腔體(ti)尺(chi)寸(cun) | 137X57X21mm 容積165ML |
| 加(jia)熱臺尺寸 | Φ35mm |
| 觀察(cha)窗內(nei)徑(jing) | Φ45mm |
| 觀察窗材質 | 高透光石(shi)英玻(bo)璃(li) |
| 信號輸(shu)出頭 | SMA母頭(tou) ; 配(pei)線(xian) SMA轉(zhuan)BNC 1.5米 |
| 電學性能 | 絕緣電阻(zu) ≥4000MΩ 介質耐壓(ya) ≤500V |
| 抽氣(qi)口 | KF16 |
| 進氣口 | 6MM卡(ka)套 |
| 使用正(zheng)壓(ya) | ≤O.05MPa |
| 使(shi)用負壓 | 機械泵(beng)可(ke)獲(huo)得真空(kong)≤10Pa 分子泵(beng)可(ke)獲(huo)得真空(kong)≤10 -3 Pa |
| 可擴展(zhan)配件 | 氣體液體注射口(kou) 4芯電信(xin)號接頭 8芯電信號接頭 SMA905 光纖接口 擴展(zhan)5KV高(gao)壓(ya)電極 升(sheng)級(ji)30段(duan)控溫儀表 |
| 移動(dong)探針(zhen) | |
| 探(tan)針規格(ge) | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
| 上下移動距(ju)離 | 2.5mm |
| 前(qian)后移動距離 | ±10mm |
| 左右旋轉距離(li) | 120° |
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