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微(wei)型真空(kong)(kong)探(tan)針臺設計有進氣(qi)口和抽(chou)真空(kong)(kong)接(jie)口其(qi)真空(kong)(kong)度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空(kong)(kong)信(xin)號(hao)連接(jie)處使(shi)用高級(ji)真空(kong)(kong)電極(ji)信(xin)號(hao)接(jie)頭，保(bao)證氣(qi)密性及抗(kang)干擾性能。使(shi)用時將需將待檢測(ce)的器件方在加熱臺面(mian)，探(tan)針尖處由3軸可移動(dong)(dong)探(tan)針手動(dong)(dong)調節移動(dong)(dong)至被測(ce)試(shi)器件的引腳處，外部信(xin)號(hao)線連接(jie)測(ce)試(shi)儀器來(lai)測(ce)試(shi)電學信(xin)號(hao)。

氣(qi)(qi)體溫度控(kong)制儀的(de)氣(qi)(qi)體從腔體底部(bu)向(xiang)上經分(fen)布器以氣(qi)(qi)泡(pao)形式通過液層(ceng)，氣(qi)(qi)相中的(de)反應物溶入液相并(bing)進行反應，氣(qi)(qi)泡(pao)的(de)攪拌作(zuo)用可(ke)使液相充分(fen)混合。鼓泡(pao)塔結構簡單，沒(mei)有運動(dong)部(bu)件，適用于氣(qi)(qi)體加(jia)濕，氣(qi)(qi)液反應。

超低溫真(zhen)空半導(dao)體(ti)制冷臺(tai)主要用(yong)于氣體(ti)敏(min)感材料或其他(ta)對環境敏(min)感性材料中(zhong)的電信號測試。測試腔體(ti)內部(bu)裝有(you)(you)不銹鋼(gang)(gang)加(jia)熱承載臺(tai)，臺(tai)面(mian)(mian)(mian)為φ30，臺(tai)面(mian)(mian)(mian)可升溫到(dao)400℃。臺(tai)面(mian)(mian)(mian)四周裝有(you)(you)微型(xing)3軸可移動鎢鋼(gang)(gang)探(tan)針，特別適合微小(xiao)未封裝的叉指電極等傳感器測試。

真空加熱腔體(ti)主要(yao)用于氣體(ti)敏(min)感材料或其他對環境敏(min)感性材料中的(de)電(dian)信(xin)號(hao)測試(shi)。測試(shi)腔體(ti)內部裝有不銹鋼加熱承載臺(tai)，臺(tai)面(mian)為50x50mm，臺(tai)面(mian)高(gao)可升溫到高(gao)350℃。

高低(di)溫(wen)(wen)真空探(tan)針臺KT-Z160T-RL，真空高低(di)溫(wen)(wen)探(tan)針臺系統，使用國際(ji)上(shang)*溫(wen)(wen)度(du)控(kong)制系統和傳感(gan)器，溫(wen)(wen)度(du)范圍為(wei)77.15K至(zhi)673.15K（-196攝(she)氏度(du)到(dao)400攝(she)氏度(du)），溫(wen)(wen)度(du)穩(wen)定性可達0.1K。