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產品簡介
小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導電或導電不良的樣品上(shang)涂布(bu)金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄(bo)膜(mo)。 在較短(duan)時間內即可(ke)形成具有細粒度的均勻薄(bo)膜(mo)，使(shi)樣品適用于掃描電子(zi)顯微鏡（SEM）分析。儀器結構(gou)緊湊，全自(zi)動控(kong)制(zhi)，設計(ji)符合(he)人體工程學，所得結果一致，可(ke)重復性(xing)高。
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相關(guan)文章| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 | 價格區間 | 1-5萬 |
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子 |
一、公司(si)背景介紹(shao)：
（1）鄭(zheng)州科探儀器(qi)設備是(shi)高質(zhi)量定制物(wu)理氣(qi)相沉積（PVD）系統的設計(ji)者和(he)制造商，客戶(hu)服務和(he)售后服務出色。擁有7年以上(shang)真空和(he)薄膜(mo)沉積技(ji)術經(jing)驗。其研(yan)發(fa)團隊在學界科學家和(he)工程師的支(zhi)持下，高度積極地開發(fa)新設計(ji)以滿(man)足(zu)客戶(hu)的特(te)殊(shu)要求(qiu)。
（2）鄭科探的(de)工程團隊設計和(he)(he)制造的(de)組件符合高(gao)質量標準(zhun)。KT-Z1650PVD真空(kong)鍍膜機已通過(guo)分銷商銷往(wang)許多大學和(he)(he)研究中(zhong)心，并得到了很好的(de)參考和(he)(he)反饋。
二、儀器描述：小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au/Pd）的薄膜。在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動控制，設計符合人體工程學，所得結果一致，可重復性高。
三、產品特點：
彩色觸(chu)摸(mo)屏(ping)：數據(ju)輸入(ru)簡單快速。
通過(guo)觸摸屏中直觀檢測數據(ju)和曲線；歷(li)史頁(ye)面可(ke)顯示歷(li)史涂層信息。
可控鍍膜速率，可得到更(geng)精細的晶粒結構。
可(ke)手動或自動，根據時間或根據厚(hou)度進行濺射(she)。
樣品(pin)臺(tai)更(geng)換簡(jian)單：標準旋轉(zhuan)樣品(pin)臺(tai)或選用行星式(shi)旋轉(zhuan)樣品(pin)臺(tai)。
標準樣(yang)品臺(tai)高(gao)度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣(yang)品臺(tai)為(wei)多孔樣(yang)品帶來好的噴金(jin)效果。
四、小型濺射儀鄭州科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數：
控制方(fang)式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切(qie)換控制 |
濺射電(dian)源 | 直流濺射電源 |
鍍(du)膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋(dang)板(ban)位和(he)樣(yang)品速度程序 |
功(gong)率(lv) | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流(liu)≤1A |
真空 | 機械泵(beng) ≤5Pa（5分鐘(zhong)） 分子(zi)泵(beng)≤5*10^-3Pa |
濺射(she)真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室(shi) | 不銹鋼腔(qiang)體(ti)φ160mm x 170mm |
樣品(pin)臺 | 可旋轉(zhuan)φ62 （可安裝φ50基(ji)底） |
樣(yang)品臺轉速 | 8轉(zhuan)/分(fen)鐘 |
樣(yang)品濺射源調節距離(li) | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉(la)尼(ni)真空計（已安裝(zhuang) 測(ce)量(liang)范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口(kou) | KF25抽(chou)氣(qi)口 KF16放氣(qi)口 6mm卡套進氣(qi)口 |
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