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Product Center高溫氣敏(min)測試臺(tai) 真空(kong)探(tan)針(zhen)臺(tai),體型平板大小(xiao),功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探(tan)針(zhen)尖10μm。
品牌 | 鄭科探 |
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高溫氣敏測試臺 真空探針臺,體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。
模塊(kuai)化結(jie)構設計(ji),可(ke)以使(shi)探針臺(tai)在一個基本(ben)平(ping)臺(tai)的基礎上(shang)不斷的進行升(sheng)級。可(ke)根據測試(shi)環境和測試(shi)條件的改變而進行現(xian)場(chang)升(sheng)級。增加高低溫等,以滿足用(yong)戶新的要(yao)求。
可處理不(bu)同(tong)尺寸的晶圓
可測試(shi)芯片、晶圓
可處理薄的(de)和彎曲的(de)晶圓(yuan)或者硅和III-V 族化合物(wu)
模塊化(hua)結構設(she)計,具有較好的(de)靈(ling)活性
高溫氣敏測試臺 真空探針臺參數
真空(kong)腔體 | |
類(lei)型 | 加(jia)熱型350℃ 或者加(jia)熱制冷型 室溫(wen)到350℃ 室溫(wen)到-190℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
腔體內尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視(shi)窗尺寸 | Φ42mm(選配凹視窗(chuang)Φ22mm) |
腔體(ti)抽(chou)氣口(kou) | KF16 |
腔(qiang)體進氣口 | 公制(zhi)3mm 6mm氣管接頭 英制(zhi)1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔(qiang)體(ti)出(chu)氣口 | 公(gong)制(zhi)3mm 6mm氣(qi)管接(jie)頭(tou) 英(ying)制(zhi)1/8mm 1/4mm 氣(qi)管接(jie)頭(tou)可選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體(ti)真空度 | 機械(xie)泵(beng)(beng)≤5Pa (5分(fen)鐘(zhong)) 分(fen)子泵(beng)(beng)≤5E-3Pa(30分(fen)鐘(zhong)) |
樣品臺 | |
樣品臺材質 | 304不銹(xiu)鋼 |
樣品臺尺寸(cun) | 26X26mm |
樣品臺-視窗 距離 | 30mm(可選凹視窗(chuang)間(jian)距15mm) |
樣品臺測溫傳感器(qi) | A 級PT100鉑電阻 |
樣品臺溫度 | 室溫(wen)到350℃(可選(xuan)高(gao)低溫(wen)樣品臺 高(gao)溫(wen)350℃低溫(wen)-190℃) |
樣品(pin)臺(tai)測溫誤差 | ±0.2℃ |
樣(yang)品臺變(bian)溫(wen)速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫度顯示(shi) | 7寸人機(ji)界(jie)面 |
溫控類型(xing) | 標準(zhun)PID溫控(kong) +自整定(ding)(可選30段編程(cheng)控(kong)溫) |
溫(wen)度分辨率(lv) | 0.1℃ |
溫控(kong)精度 | ±0.5℃ |
溫度(du)信號輸(shu)入類(lei)型 | PT100熱(re)電阻 (可選(xuan) K S B型(xing)熱(re)電偶) |
溫(wen)控輸出 | 直流線(xian)性電(dian)源加熱(re)(液氮流量線(xian)性控制(zhi)液氮制(zhi)冷(leng)) |
輔助功(gong)能(neng) | 溫(wen)度數據采集并導出 實時溫(wen)度曲線+歷史(shi)溫(wen)度曲線 |
探(tan)針 | |
電信號接(jie)頭 | 配線(xian)轉接(jie) BNC接(jie)頭(tou)(tou) BNC三同軸接(jie)頭(tou)(tou) SMA 接(jie)頭(tou)(tou) 香蕉(jiao)插頭(tou)(tou) 線(xian)長1.2米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探(tan)針(zhen)數量(liang) | 4探針(可定做(zuo)6探針) |
探針材質 | 鍍金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針(zhen)移動平臺 | |
X軸移動行(xing)程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移動(dong)行(xing)程 | 12mm ±6mm |
Y軸(zhou)控(kong)制精度 | ≤5μm |
Z軸移動行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數碼(ma)顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡(jing)放大+電子放大 |
顯(xian)微(wei)鏡放大(da)倍數 | 100倍 |
顯微鏡工作(zuo)間距(ju) | 50-150mm |
相機(ji)分辨率 | 1080P 60幀(zhen) |
相機信號(hao)輸出(chu) | HDMI輸(shu)出(chu)+USB輸(shu)出(chu) |
LED可調光源 | LED光源 |
顯(xian)示屏 | 5寸 屏(ping)幕(mu)一(yi)體機 |