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產品簡介
高真(zhen)空(kong)大型探針臺，采(cai)用304不銹鋼(gang)腔體，樣(yang)品臺溫度-196℃到400℃，觀察窗尺寸直(zhi)徑70mm，
| 品牌 | 鄭科探 |
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高真空大型探針臺，采用304不銹鋼(gang)腔體，樣品臺溫(wen)度-196℃到400℃，觀察窗尺寸直(zhi)徑70mm，
預(yu)算及產品品質(zhi)一直是(shi)困擾用戶(hu)的兩個難題。鄭科探(tan)推出的KT-Z160T-RL大型探(tan)針臺(tai)具有探(tan)針臂精(jing)度小于(yu)0.01mm，探(tan)針尖10μm，配有電(dian)子顯微鏡放大倍(bei)(bei)數(shu)19-135倍(bei)(bei)。20升液(ye)氮可(ke)連續使(shi)用30個小時(shi)。價格相對合理。
因為晶(jing)圓(yuan)在(zai)低溫大(da)(da)氣(qi)環境測試(shi)時，空(kong)氣(qi)中的水汽會凝結(jie)在(zai)晶(jing)圓(yuan)上，會導致漏電過大(da)(da)或者探(tan)針無(wu)法(fa)接觸電極而(er)使測試(shi)失敗。避免這些需要(yao)把真空(kong)腔內的水汽在(zai)測試(shi)前用泵抽走，并且(qie)保持整個(ge)測試(shi)過程泵的運轉。
高真空大型探針臺
真(zhen)空腔體 | |
腔體(ti)材質 | 304不銹鋼 |
上蓋(gai)開啟 | 鉸鏈側開 |
加熱臺材質 | 304不銹鋼 |
內腔體尺(chi)寸(cun) | φ160x90mm |
觀察窗尺寸(cun) | Φ70mm |
加熱臺(tai)尺寸 | φ60mm |
觀察(cha)窗熱臺(tai)間(jian)距(ju) | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控(kong)誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵(beng)≤10Pa 分子泵(beng)≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣(qi)口 | KF25真(zhen)空法蘭 |
氣體進氣口 | 3mm-6mm卡套(tao)接頭 |
電信(xin)號(hao)接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學性能 | 絕緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ 介(jie)質耐壓(ya) ≤500V |
探針數量(liang) | 4探針 |
探針(zhen)材質 | 鎢針 |
探針尖(jian) | 10μm |
探針移動平臺 | |
X軸移(yi)動行程(cheng) | 30mm ±15mm |
X軸控制精度(du) | ≤0.01mm |
Y軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制(zhi)精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控(kong)制精度 | ≤0.01mm |
電(dian)子(zi)顯微鏡 | |
顯微鏡(jing)類別 | 物鏡(jing) |
物鏡(jing)倍(bei)數(shu) | 0.7-4.5倍 |
工(gong)作間距 | 90mm |
相機(ji) | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調光源 | 有 |
顯示(shi)屏 | 8寸 |
放大倍(bei)數 | 19-135倍(bei),視場(chang)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分(fen)辨(bian)0.08mm |
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