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當前位置:首頁產品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD水冷型磁控(kong)濺射(she)儀

水冷型磁控濺射儀

產品簡介

水冷(leng)型磁控(kong)濺(jian)射儀,7寸人機界面(mian),自動(dong)手動(dong)模式切換控(kong)制,最大(da)功(gong)率1000w直(zhi)流磁控(kong)濺(jian)射

產品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:1006
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品牌鄭科探濺射氣體根據需求通氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀 等價格區間面議
產地類別國產應用領域綜合

水冷型磁控濺射儀,7寸人機(ji)界面,自動(dong)手動(dong)模式切換控制,最大功率1000w直流(liu)磁(ci)控濺射

單靶(ba)(ba)直(zhi)流磁控濺射鍍膜(mo)儀(yi)可用于制備(bei)單層鐵電(dian)(dian)薄膜(mo)、導電(dian)(dian)薄膜(mo)、合金薄膜(mo)等。該單靶(ba)(ba)磁控濺射鍍膜(mo)儀(yi)與同類設備(bei)相(xiang)比,其不僅應(ying)用廣(guang)泛,且具有(you)體積小便(bian)于操作的(de)優點,是一款實驗室制備(bei)材料(liao)薄膜(mo)的(de)理想設備(bei),特別適(shi)用于實驗室研究(jiu)固態電(dian)(dian)解質及(ji)OLED等

單靶直流(liu)磁控濺射鍍膜儀是我(wo)公司自主研發的一款(kuan)高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模(mo)塊(kuai)化、可定制化的特點。

所配電(dian)源(yuan)為1000W大功率直(zhi)流電源,可用(yong)于高能量的金屬濺射鍍膜(mo),根據實驗需求也可以選(xuan)配其他規格(ge)的直(zhi)流或者射頻電源來實現各種材料(liao)的鍍膜(mo)操作。

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水冷型磁控濺射儀技術參數;

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換(huan)控制(zhi)

濺射電源(yuan)

直流濺射電源

鍍膜功(gong)能(neng)

0-999秒5段(duan)可變換(huan)功率及擋板位和樣品速(su)度程序(xu)

功率

≤1000W

輸(shu)出電(dian)壓電(dian)流(liu)

電壓≤1000V  電流(liu)≤1A

真空

機(ji)械泵(beng) ≤5Pa(5分鐘)   分子泵(beng)≤5*10^-3Pa

濺(jian)射真空(kong)

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹(xiu)鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm

樣品臺(tai)

可(ke)旋轉φ62  (可(ke)安裝φ50基(ji)底)

樣品臺轉(zhuan)速(su)

8轉/分鐘

樣品濺(jian)射源調節距離

40-105mm

真空(kong)測量

皮拉尼(ni)真空計(已安(an)裝 測(ce)量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真(zhen)空接口(kou)

KF25抽(chou)氣(qi)口    KF16放氣(qi)口   6mm卡套進氣(qi)口



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