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相關文(wen)章品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求通氣 |
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樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質 | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區間 | 面議 |
產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
水冷型磁控濺射儀,7寸人機(ji)界面,自動(dong)手動(dong)模式切換控制,最大功率1000w直流(liu)磁(ci)控濺射
單靶(ba)(ba)直(zhi)流磁控濺射鍍膜(mo)儀(yi)可用于制備(bei)單層鐵電(dian)(dian)薄膜(mo)、導電(dian)(dian)薄膜(mo)、合金薄膜(mo)等。該單靶(ba)(ba)磁控濺射鍍膜(mo)儀(yi)與同類設備(bei)相(xiang)比,其不僅應(ying)用廣(guang)泛,且具有(you)體積小便(bian)于操作的(de)優點,是一款實驗室制備(bei)材料(liao)薄膜(mo)的(de)理想設備(bei),特別適(shi)用于實驗室研究(jiu)固態電(dian)(dian)解質及(ji)OLED等
單靶直流(liu)磁控濺射鍍膜儀是我(wo)公司自主研發的一款(kuan)高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模(mo)塊(kuai)化、可定制化的特點。
所配電(dian)源(yuan)為1000W大功率直(zhi)流電源,可用(yong)于高能量的金屬濺射鍍膜(mo),根據實驗需求也可以選(xuan)配其他規格(ge)的直(zhi)流或者射頻電源來實現各種材料(liao)的鍍膜(mo)操作。
水冷型磁控濺射儀技術參數;
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換(huan)控制(zhi) |
濺射電源(yuan) | 直流濺射電源 |
鍍膜功(gong)能(neng) | 0-999秒5段(duan)可變換(huan)功率及擋板位和樣品速(su)度程序(xu) |
功率 | ≤1000W |
輸(shu)出電(dian)壓電(dian)流(liu) | 電壓≤1000V 電流(liu)≤1A |
真空 | 機(ji)械泵(beng) ≤5Pa(5分鐘) 分子泵(beng)≤5*10^-3Pa |
濺(jian)射真空(kong) | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹(xiu)鋼腔體(ti)φ160mm x 170mm |
樣品臺(tai) | 可(ke)旋轉φ62 (可(ke)安裝φ50基(ji)底) |
樣品臺轉(zhuan)速(su) | 8轉/分鐘 |
樣品濺(jian)射源調節距離 | 40-105mm |
真空(kong)測量 | 皮拉尼(ni)真空計(已安(an)裝 測(ce)量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真(zhen)空接口(kou) | KF25抽(chou)氣(qi)口 KF16放氣(qi)口 6mm卡套進氣(qi)口 |