類型

高溫型室溫到350℃

高低(di)溫(wen)型 室溫到350℃  室溫到-196℃

腔體材(cai)質

304不(bu)銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體(ti)內尺寸

127mmX57mmX20mm

腔體外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼(gang)材質 約1.5KG     鋁合金材質 約(yue)0.5KG

腔體上(shang)視窗(chuang)尺寸

Φ42mm（可選(xuan)配凹(ao)視窗(chuang)用于減少(shao)窗(chuang)口(kou)和樣品之間距離(li)）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接(jie)口規格可轉(zhuan)接(jie)）

腔體(ti)真空測量口(kou)

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體(ti)進(jin)氣(qi)口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體(ti)冷卻(que)方式

腔體(ti)水冷(leng)+上蓋(gai)氣冷

腔體水(shui)冷接(jie)口

腔體(ti)正壓(ya)

≤0.05MPa

腔體真空度(du)

機械(xie)泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘(zhong)）

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀銅(tong)合金 純(chun)銀(yin)塊

銀銅合金(jin) 純銀塊

樣品(pin)臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻(zu)加熱

電阻(zu)加熱 液氮制冷

樣(yang)品臺-視窗 距(ju)離

11mm（可選(xuan)配凹(ao)視(shi)窗(chuang)用于減(jian)少(shao)窗(chuang)口和樣(yang)品之間距離到6mm）

樣品臺測(ce)溫傳(chuan)感器

PT100型熱電阻

樣品(pin)臺(tai)溫度(du)

室(shi)溫到400℃

室溫到(dao)400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺(tai)升(sheng)溫速(su)率

高溫100℃/min  低溫7℃/min

溫控儀

溫(wen)度顯示(shi)

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫(wen)控 +自(zi)整(zheng)定

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100 （可選K  S  B型(xing)熱(re)電偶）

溫(wen)控輸出

直(zhi)流線性電源加熱(re)

直流(liu)線性電源加熱+液氮(dan)流速(su)控制器

輔助功能

溫度(du)數據采集并導出 實時溫度曲線(xian)+歷史溫(wen)度曲線 可擴展(zhan)真空讀數接口(kou)

溫(wen)控(kong)器尺寸(cun)

32cmX170cmX380cm

溫控器(qi)重量

約5.6KG

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭 香蕉插頭 線(xian)長(chang)1.2米

電學性(xing)能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐(nai)壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數量

4探(tan)針（可擴(kuo)展5探針）

探針材質

鍍金鎢針 （其(qi)他(ta)材(cai)質可選）

探針(zhen)尖

10μm

手動探針移動平臺

X軸移動行程

20mm    ±10mm（需(xu)手(shou)動推動滑臺）

X軸控(kong)制精度(du)

≥500μm

R軸(zhou)移動行(xing)程

120°    ±60°（需手動旋轉探針桿）

R軸控(kong)制精度(du)

≥500μm

Z軸移(yi)動行程

2mm    ±1mm

Z軸控制精(jing)度

≤50μm（需手動螺紋調節探針桿(gan)）