產品中心
Product Center
產品簡介
微(wei)型高溫(wen)探針臺KT-Z400MR4T，0-400℃溫(wen)控，主要(yao)用于(yu)介(jie)電(dian)、壓電(dian)、鐵電(dian)、熱釋電(dian)、光電(dian)等(deng)材料的電(dian)學性能表征和(he)測量。
| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
微型高溫探針臺KT-Z400MR4T
系列微(wei)型(xing)真空探針臺是(shi)一款專門用(yong)于材料(liao)電(dian)學表征(zheng)和測量的微(wei)型(xing)桌面(mian)型(xing)電(dian)學測量臺，主要用(yong)于介電(dian)、壓電(dian)、鐵電(dian)、熱釋電(dian)、光電(dian)等(deng)材料(liao)的電(dian)學性能(neng)表征(zheng)和測 量(liang)，還可以在真空、氣氛(fen)環境(jing)下對材(cai)料(liao)進行電學(xue)測(ce)量(liang)評估，是實(shi)驗室測(ce)量(liang)薄膜材(cai)料(liao)電學(xue)性能工具，廣泛用于高校、科研、航天航空、軍工院所等領域。
主(zhu)要應用(yong)于(yu)半導體行業、光電(dian)(dian)行業、集成電(dian)(dian)路以及封裝的測試。探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)從操作上來(lai)區(qu)分有：手(shou)動，半自(zi)(zi)動，全自(zi)(zi)動從功能上來(lai)區(qu)分有：溫控(kong)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)，真(zhen)空探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)(低溫探(tan)針臺(tai))，RF探針臺(tai)，LCD平(ping)板(ban)探(tan)針(zhen)臺(tai)，霍(huo)爾效應(ying)探(tan)針(zhen)臺(tai)，表面(mian)電阻率探(tan)針(zhen)臺(tai)。普遍應(ying)用于復雜、高速(su)器件(jian)的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件(jian)制造工(gong)藝的成本。自動探(tan)針(zhen)測試臺(tai)在功能及組成上大同小(xiao)異，即主要由x-y向(xiang)工作(zuo)臺，可(ke)編程承片臺、探(tan)卡/探(tan)卡(ka)支架、打點器、探(tan)邊(bian)器、操作手柄等組成
為了減少泵組(zu)的振動，我們還專(zhuan)門為用戶設計(ji)了隔振器，很大程度地衰減(jian)泵組工作時產生的振動，以確保系統的穩定(ding)，減(jian)少探針的漂(piao)移。
微(wei)型高溫探針臺KT-Z400MR4T參數
真空腔體(ti) | ||
類(lei)型 | 高溫型(xing)室溫到(dao)350℃ | 高低溫(wen)型 室溫到(dao)350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質 | 304不銹鋼 6061鋁(lv)合金 可選 | |
腔體內(nei)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼(gang)材質 約1.5KG 鋁(lv)合(he)金材質 約0.5KG | |
腔(qiang)體(ti)上視窗尺寸 | Φ42mm（可(ke)選配凹(ao)視(shi)窗(chuang)用于減少窗(chuang)口和樣品之(zhi)間距(ju)離） | |
腔體(ti)(ti)抽氣口 | KF16法蘭(lan)（其(qi)余接口(kou)規格(ge)可轉接） | |
腔體真(zhen)空測量口 | KF16法蘭(lan)（其余接口規格可轉接） | |
腔體(ti)進(jin)氣(qi)口(kou) | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體(ti)冷卻方式 | 腔體水冷+上(shang)蓋氣冷 | |
腔體(ti)水冷接口(kou) | ||
腔體正(zheng)壓 | ≤0.05MPa | |
腔體(ti)真空度(du) | 機械泵≤5Pa （5分(fen)鐘(zhong)） 分子(zi)泵(beng)≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品(pin)臺 | ||
樣品(pin)臺材質 | 不銹(xiu)鋼 銀銅合(he)金(jin) 純銀塊(kuai) | 銀銅(tong)合金(jin) 純銀(yin)塊 |
樣品臺尺寸(cun) | 26x26mm | |
樣品(pin)臺加熱(re)方式 | 電阻加熱(re) | 電阻加(jia)熱 液氮制冷(leng) |
樣品臺(tai)-視窗(chuang) 距(ju)離 | 11mm（可選配凹視窗用于(yu)減少窗口和(he)樣(yang)品之(zhi)間距離到(dao)6mm） | |
樣品(pin)臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣(yang)品臺溫度 | 室(shi)溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫(wen)誤差 | ±0.5℃ | |
樣(yang)品(pin)臺升(sheng)溫速(su)率 | 高溫100℃/min 最大值 低溫7℃/min | |
溫(wen)控儀 | ||
溫(wen)度顯示 | 7寸人機(ji)界面 | |
溫控類(lei)型 | 標(biao)準PID溫控 +自整定 | |
溫度分(fen)辨率 | 0.1℃ | |
溫控精(jing)度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸(shu)入(ru)類(lei)型 | PT100 （可選K S B型(xing)熱(re)電偶） | |
溫控(kong)輸出 | 直(zhi)流(liu)線性電源加(jia)熱 | 直流線性電源加(jia)熱+液氮流速控制器 |
輔助功能(neng) | 溫(wen)度數據采集并導(dao)出 實時溫度曲線(xian)+歷(li)史溫(wen)度曲線 可擴(kuo)展真(zhen)空(kong)讀數接口(kou) | |
溫(wen)控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插(cha)頭 線長1.2米 | |
電學(xue)性能 | 絕(jue)緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhi)耐壓 ≤200V 電流噪(zao)聲 ≤10pA | |
探針(zhen)數量 | 4探針（可擴展5探(tan)針） | |
探針材質 | 鍍金鎢針 （其他材質可選） | |
探針(zhen)尖 | 10μm | |
手動探針移動平(ping)臺 | ||
X軸移動行(xing)程 | 20mm ±10mm（需手動推動滑(hua)臺） | |
X軸控制(zhi)精度(du) | ≥500μm | |
R軸移動行程 | 120° ±60°（需手(shou)動旋轉探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動(dong)行程(cheng) | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿(gan)） | |
當前位置：
上一個：
返回列表
