真空微型探針臺應用與半導體測試變 溫(wen)(wen)真空腔探針臺系(xi)(xi)統(tong)方案：高(gao)低溫(wen)(wen)真空腔探針系(xi)(xi)統(tong)主要(yao)用于為被測芯(xin)片(pian)提供一個(ge)低溫(wen)(wen)或者高(gao)溫(wen)(wen)的變溫(wen)(wen)測量環(huan)境(jing)(jing)，以便(bian)測量分(fen)析溫(wen)(wen)度變化時芯(xin)片(pian)性能參數的變化。腔體內被測芯(xin)片(pian)在真空環(huan)境(jing)(jing)中。

   精巧型真空(kong)腔(qiang)體測試腔(qiang)主要(yao)用于氣體敏感材(cai)料或(huo)其他對環境敏感性(xing)材(cai)料中的電信號測試。測試腔(qiang)體內部(bu)裝(zhuang)有(you)不銹鋼加熱承載臺，臺面為(wei)φ30，臺面(mian)高可升溫到高400℃。臺(tai)面四(si)周裝(zhuang)有(you)微型(xing)3軸(zhou)可(ke)移動鎢(wu)鋼探針，特別適合微小未封裝(zhuang)的叉(cha)指電極(ji)等傳感器測試(shi)。

    真空微型探針臺應用與半導體測試 低溫(wen)(wen)(wen)真空(kong)探針臺是一(yi)款為(wei)晶(jing)片、器(qi)件(jian)(jian)和(he)(he)材(cai)料(liao)(liao)（薄(bo)膜、納米(mi)、石墨烯、電子材(cai)料(liao)(liao)、超(chao)導材(cai)料(liao)(liao)、鐵電材(cai)料(liao)(liao)等）提(ti)供(gong)真空(kong)和(he)(he)低溫(wen)(wen)(wen)測(ce)試條(tiao)件(jian)(jian)下進(jin)行非破壞(huai)性(xing)的(de)電學表征和(he)(he)測(ce)量(liang)(liang)平臺。CPS系列(lie)低溫(wen)(wen)(wen)真空(kong)探針臺可以對材(cai)料(liao)(liao)或器(qi)件(jian)(jian)進(jin)行電學特(te)性(xing)測(ce)量(liang)(liang)、光(guang)電特(te)性(xing)測(ce)量(liang)(liang)、參數測(ce)量(liang)(liang)、高阻測(ce)量(liang)(liang)、DC測(ce)量(liang)(liang)、RF測(ce)量(liang)(liang)和(he)(he)微波特(te)性(xing)測(ce)量(liang)(liang)，廣泛應用(yong)于半導體工(gong)業（芯片、晶(jing)圓片、封裝(zhuang)器(qi)件(jian)(jian)）、MEMS、超(chao)導、電子學、物理學和(he)(he)材(cai)料(liao)(liao)學等領域。為(wei)了提(ti)高系統(tong)的(de)實用(yong)性(xing)，系統(tong)還(huan)可以提(ti)供(gong)3.2K的(de)溫(wen)(wen)(wen)度(du)擴展選件(jian)(jian)、振(zhen)動隔離裝(zhuang)置、LN2杜瓦、高放大(da)倍數的(de)顯微鏡、分子泵機(ji)組(zu)、熱(re)輻射屏的(de)溫(wen)(wen)(wen)度(du)控制(zhi)裝(zhuang)置、探針臂的(de)光(guang)纖電纜(lan)、光(guang)學樣(yang)品架等選件(jian)(jian)。