真空手動多功能微型探針臺腔體設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號

      真空手動多功能微型探針臺真空(kong)信(xin)(xin)號(hao)連接(jie)處使(shi)用高級真空(kong)電極(ji)信(xin)(xin)號(hao)接(jie)頭，保證氣密性及(ji)抗干擾性能(neng)。使(shi)用時將需將待檢測(ce)的器(qi)件方在加熱臺面，探(tan)針(zhen)尖處由3軸(zhou)可(ke)移動探(tan)針(zhen)手動調節移動至被測(ce)試器(qi)件的引腳處，外(wai)部信(xin)(xin)號(hao)線連接(jie)測(ce)試儀器(qi)來測(ce)試電學(xue)信(xin)(xin)號(hao)。

* 溫度(du)可控，可控精度(du)<0.1℃

* 真(zhen)空度10-3至(zhi)10-5Torr
* 防震動(dong)設計
* 測量范圍DC至67 GHz
* 多可容納100毫(hao)米(mi)晶(jing)圓
* 可配(pei)置多達四個微操縱探針(zhen)臂（波紋管(guan)）
* 探針座微操作器(qi)行程±12mm
* 電(dian)(dian)纜線屏蔽、電(dian)(dian)氣(qi)噪聲、熱輻射損失降到低

* 可預留不同(tong)尺寸接口(kou)以備(bei)充入其它(ta)氣(qi)體(ti)使(shi)用

* 可(ke)預留接口以備安裝(zhuang)電子閥及流量計之用(yong)

* 顯微鏡觀察系統可選

   目前(qian)公司已研(yan)發生產(chan)(chan)產(chan)(chan)品十多個系(xi)列幾(ji)十款產(chan)(chan)品，產(chan)(chan)品囊括實驗電爐   CVD供氣系(xi)統   等(deng)離子清(qing)洗機(ji)   小型(xing)離子濺射儀 小型蒸鍍儀  石英管真空封口   半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業在新材料、新能源等領域物理特性及化學特性的研究，廣銷于各大院校，及材料研究所。

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