半導體制冷超低溫探針熱臺精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。

    KT-Z165M4RT半導體制冷超低溫探針熱臺主(zhu)要用于(yu)氣(qi)體(ti)敏(min)感材(cai)料或(huo)其他對(dui)環境敏(min)感性材(cai)料中的電信號測試(shi)。測試(shi)腔(qiang)體(ti)內(nei)部(bu)裝有不銹鋼加(jia)熱(re)承載臺(tai)(tai)，臺(tai)(tai)面(mian)為φ30，臺(tai)(tai)面(mian)可(ke)升溫到400℃。臺(tai)(tai)面(mian)四(si)周裝有微型3軸可(ke)移(yi)(yi)動鎢鋼探(tan)針，特別適合微小(xiao)未封(feng)裝的叉指電極(ji)等傳感器測試(shi)。該(gai)腔(qiang)體(ti)設計有進氣(qi)口和抽(chou)真(zhen)空接(jie)口其真(zhen)空度用機械泵可(ke)達＜5Pa分子泵可(ke)達＜-3Pa。真(zhen)空信號連接(jie)處(chu)使(shi)用高級(ji)真(zhen)空電極(ji)信號接(jie)頭，保(bao)證(zheng)氣(qi)密(mi)性及抗干擾性能。使(shi)用時將(jiang)需將(jiang)待(dai)檢(jian)測的器件(jian)方在加(jia)熱(re)臺(tai)(tai)面(mian)，探(tan)針處(chu)由3軸可(ke)移(yi)(yi)動探(tan)針手動調節移(yi)(yi)動至被測試(shi)器件(jian)的引腳處(chu)，外(wai)部(bu)信號線連接(jie)測試(shi)儀(yi)器來測試(shi)電學信號。