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真(zhen)空(kong)桌面分子泵機(ji)(ji)組是一(yi)臺清潔的(de)(de)高真(zhen)空(kong)獲得設備(bei)(bei)。此設備(bei)(bei)是根(gen)據真(zhen)空(kong)知識原理(li)，利(li)用機(ji)(ji)械泵、渦輪分子泵組合(he)成的(de)(de)真(zhen)空(kong)獲得系(xi)(xi)統(tong)(tong)，具有啟動時間(jian)快、真(zhen)空(kong)度高、操作方便(bian)等(deng)特點。廣泛應(ying)用于表面分析(xi)、加速器(qi)技術、等(deng)離子體技術、電真(zhen)空(kong)器(qi)件制造及真(zhen)空(kong)的(de)(de)各個領域。設備(bei)(bei)的(de)(de)具體組成主要包括(kuo)真(zhen)空(kong)測量(liang)系(xi)(xi)統(tong)(tong)、真(zhen)空(kong)室(shi)、閥門及真(zhen)空(kong)管路、電器(qi)控制系(xi)(xi)統(tong)(tong)等(deng)

KT-F110S 高(gao)真(zhen)空(kong)排(pai)氣(qi)臺(tai)無油渦旋分子泵(beng)機組(zu)是一(yi)臺(tai)清潔(jie)的高(gao)真(zhen)空(kong)獲得(de)設(she)(she)備(bei)。此設(she)(she)備(bei)是根據真(zhen)空(kong)知(zhi)識原理，利(li)用機械(xie)泵(beng)、渦輪分子泵(beng)組(zu)合成的真(zhen)空(kong)獲得(de)系統(tong)，具有啟動時間快(kuai)、真(zhen)空(kong)度高(gao)、操(cao)作(zuo)方(fang)便等特點。廣泛應(ying)用于表面(mian)分析、加速器技術、等離子體技術、電(dian)真(zhen)空(kong)器件(jian)制造及真(zhen)空(kong)的各個(ge)領域。設(she)(she)備(bei)的具體組(zu)成主要包括真(zhen)空(kong)測量系統(tong)、真(zhen)空(kong)室、閥(fa)門及真(zhen)空(kong)管路、電(dian)器控制系統(tong)等

PECVD射(she)頻模塊通過反應氣(qi)態(tai)放電，有(you)效(xiao)地利用了非(fei)平衡等(deng)離子(zi)體的(de)反應特征，從(cong)根(gen)本上改(gai)變了反應體系的(de)能量供給方式低(di)(di)溫(wen)熱等(deng)離子(zi)體化學(xue)氣(qi)相沉積法具有(you)氣(qi)相法的(de)所有(you)優點(dian)，工藝流程簡單，與(yu)傳統CVD系統比(bi)較(jiao)，生長溫(wen)度更低(di)(di)，管輝光(guang)均勻等(deng)效(xiao)，薄(bo)膜均勻沉積。