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Product Center當前位置:首頁產品中心實驗室搭建PECVD 射頻模塊KT-PE500ZPECVD射頻(pin)模塊
PECVD射頻(pin)模塊通(tong)過反應(ying)氣(qi)態放電,有效地利用了(le)非平衡等離子體(ti)的反應(ying)特征,從根(gen)本(ben)上改(gai)變了(le)反應(ying)體(ti)系(xi)的能量(liang)供(gong)給方(fang)式低(di)溫(wen)熱等離子體(ti)化學氣(qi)相沉積法(fa)具(ju)有氣(qi)相法(fa)的所有優點,工藝(yi)流程簡單,與傳統(tong)CVD系(xi)統(tong)比(bi)較(jiao),生長溫(wen)度更低(di),管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。
品牌 | 其他品牌 | 電動機功率 | 1000KW |
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外形尺寸 | 0mm | 重量 | 16kg |
應用領域 | 電子 |
KT-PE500ZPECVD射頻模塊是借助(zhu)于輝光放電(dian)等方法(fa)產生等離(li)子(zi)體(ti),輝光放電(dian)等離(li)子(zi)體(ti)中:電(dian)子(zi)密度高(gao)109-1012cm3電(dian)子(zi)氣(qi)體(ti)溫度比普通氣(qi)體(ti)分(fen)子(zi)溫度高(gao)出(chu)10-100倍(bei),使含有薄膜組成的(de)(de)氣(qi)態物質(zhi)發生化學反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying),從而(er)實現薄膜材料生長的(de)(de)一種(zhong)新的(de)(de)制備技術。通過反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)氣(qi)態放電(dian),有效地利(li)用了(le)非(fei)平衡等離(li)子(zi)體(ti)的(de)(de)反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)特征,從根本(ben)上改變(bian)了(le)反(fan)(fan)應(ying)(ying)(ying)體(ti)系的(de)(de)能量供給方式低溫熱等離(li)子(zi)體(ti)化學氣(qi)相(xiang)沉(chen)積法(fa)具(ju)有氣(qi)相(xiang)法(fa)的(de)(de)所有優點,工藝流程簡(jian)單,與(yu)傳統(tong)(tong)CVD系統(tong)(tong)比較,生長溫度更低,管輝光均(jun)勻等效,薄膜均(jun)勻沉(chen)積。
PECVD射頻模塊產品參數:
型號 | KT-PE150S | KT-PE500Z | |
信號頻率 | 13.56MHz±0.005% | ||
功率輸出范圍(wei) | 0-150W | 0-500W | |
功率穩定度 | ≤5W | ||
大反(fan)射功率 | 40W | ||
射頻輸出(chu)接口 | 7/16,female 50 Ω | ||
功率穩定度(du) | ≤5W | ||
匹配方式(shi) | 手動(dong)調節(jie)匹配 | 500W自(zi)動匹配 | |
耦合方式 | 電(dian)感式耦合 | ||
輝(hui)光(guang)壓(ya)力(li) | ≤30Pa | ||
供電(dian)電(dian)壓(ya) | 50/60Hz 220v±10% | ||
整(zheng)機效率 | ≥70% | ||
冷卻(que)方式(shi) | 強(qiang)制(zhi)風冷 | ||
支(zhi)持(chi)爐管直徑 | φ25-φ80 | φ25-φ150 | |
感應區 | 210mm | ||
整機重(zhong)量 | 48KG | ||
整機尺(chi)寸:H x W x D(mm) | 600 x 600x 1100 |