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液體氣(qi)體混合配(pei)比(bi)器 用于(yu)對(dui)氣(qi)體的質量(liang)流(liu)量(liang)進行精密測(ce)(ce)量(liang)；質量(liang)流(liu)量(liang)控(kong)制(zhi)器（Mass Flow Controller縮寫(xie)為MFC）用于(yu)對(dui)氣(qi)體的質量(liang)流(liu)量(liang)進行精密測(ce)(ce)量(liang)和控(kong)制(zhi)。 它們在半導體微電(dian)子工業、特種材料研(yan)制(zhi)、化(hua)學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多(duo)種領域的科研(yan)和生產中有著重要的應用。其(qi)典型(xing)的應用場合包(bao)括； 電(dian)子工藝設備，如(ru)擴散、氧化(hua)、外延、CVD、等

氣體(ti)溫(wen)度(du)控制儀 氣體(ti)環境(jing)模(mo)擬主要用于環境(jing)氣體(ti)模(mo)擬配比(bi) 燃(ran)料電池(chi)氣體(ti)加濕 材(cai)料表面改性 濕度(du)氣敏材(cai)料電學信號測試

氣(qi)(qi)體(ti)(ti)流量(liang)計選型主要用于環境氣(qi)(qi)體(ti)(ti)模擬(ni)配比(bi)燃(ran)料(liao)電池(chi)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)加濕(shi)材料(liao)表面改性濕(shi)度氣(qi)(qi)敏(min)材料(liao)電學信號測試系統可耐0.6MPa 設備(bei)通(tong)過飽和蒸汽和干空氣(qi)(qi)按比(bi)例混合(he)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)輸(shu)出(chu)出(chu)氣(qi)(qi)口無冷凝水可為氣(qi)(qi)體(ti)(ti)分析儀燃(ran)料(liao)電池(chi)氣(qi)(qi)敏(min)測試腔供氣(qi)(qi)