液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫(xie)為(wei)MFM)用于對氣體的質量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)進行精密測量(liang)(liang)(liang)；質量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)控(kong)制器(Mass Flow Controller縮寫(xie)為(wei)MFC)用于對氣體的質量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)進行精密測量(liang)(liang)(liang)和控(kong)制。

   它們(men)在半導體微電(dian)子工業(ye)、特(te)種材料研制(zhi)、化學(xue)工業(ye)、石油(you)工業(ye)、醫藥、環保和真空(kong)等多種領域(yu)的(de)科研和生產中有(you)著重要的(de)應用(yong)。其典型的(de)應用(yong)場合(he)包括； 電(dian)子工藝(yi)設(she)備(bei)(bei)，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空(kong)鍍膜設(she)備(bei)(bei)、光纖(xian)熔煉、微反應裝(zhuang)置、混氣(qi)(qi)配氣(qi)(qi)系統、毛細管測量、氣(qi)(qi)相色譜儀及其它分(fen)析儀器。

概(gai)覽

   液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質量流量計(MFM)用于對氣體的質量流量進行 精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業、石油工業、醫藥、環 保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括： 集成電路工 藝設備，如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機； 以及鍍膜設備、 光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電(dian)子生產(chan)的(de)數字型產(chan)品，為氣(qi)體(ti)質量流(liu)量的(de)控制、 測量提供(gong)了高準(zhun)確度(du)及高可靠性。該型產(chan)品可同時支(zhi)持(chi)數字信號(hao)(hao)，0~5V 模(mo)擬(ni)信號(hao)(hao)，4~20mA 或 0~20mA 模(mo)擬(ni)信號(hao)(hao)，可以使用雙(shuang)電(dian)源(yuan)(±8~±16 VDC)或單(dan)電(dian)源(yuan)(+14~+28 VDC)。支(zhi)持(chi)自動故障報警，多氣(qi)體(ti)多量程(cheng)等功能。標準(zhun)開放的(de)通(tong)訊協議為客戶(hu)自行開發控制、采集(ji)軟件 提供(gong)便(bian)利。提供(gong)功能強大的(de)免費客戶(hu)端上位機軟件 Digital MFC。CS200-C 與 CS200-D 產(chan)品所有與氣(qi)體(ti)接觸(chu)的(de)表面均(jun)為不(bu)銹鋼金屬(shu)，其中 CS200-C 金屬(shu)表面符合 SEMI 標準(zhun)的(de)要求。

CS200-A,C,D MFC 默認配置為：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200；
控制方式：0~5V 電壓控制。

更多(duo)細(xi)節(jie)請參考產品附帶光盤中的“CS 系列 MFC 通(tong)訊協議"。

標定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用戶的要求(qiu)來標定。如果用戶沒有說明工作(zuo)情況等信息，

則按照標準狀況(kuang)標定。

1、標準狀況

出口壓力：大氣壓
氣體質量流量通常用標準狀態下的體積流量來表示，質量流量單位為：

SCCM：標準毫升/分鐘
SLM：標準升/分鐘
標準狀態：溫度 0°C (273.15K)
                 氣壓：101325Pa (760mm Hg)

在標準狀態下，氣體的密度是一個常數，該密度乘以標準狀態下的體積就是質量數，所以標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。
MFC/MFM 的標準安裝位置為水平安裝，同時為客戶提供垂直(進氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝，為保證的測量精度，用戶購買時應該說明設備的安裝方式。

2、制造環境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在溫度為(wei) 22±2°C的 100 級(ji)(ji)的凈化間(jian)內(nei)組裝(zhuang)，1000 級(ji)(ji)凈化環境下標定及包(bao)裝(zhuang)。

3、精度調節
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應的標定臺上烤機 24 小時，然后進行精確標定。精度、動態響應、壓力變化的穩定性等指標須經過兩次檢查,合格后方可出廠