1. 電感耦合（Inductively Coupled Plasma, ICP）：

電感(gan)耦合(he)等離(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)是通過高頻磁場與等離(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)的(de)相互作用來(lai)傳(chuan)遞能量(liang)(liang)的(de)。在電感(gan)耦合(he)的(de)過程中，高頻電流通過螺線管產生(sheng)高頻磁場，高頻磁場切割(ge)等離(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)產生(sheng)渦旋電流，從(cong)而將能量(liang)(liang)傳(chuan)遞給等離(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)。這種方式的(de)優(you)點是穩定(ding)性好，能量(liang)(liang)傳(chuan)遞高效，適用于(yu)高密度等離(li)子(zi)(zi)體(ti)(ti)的(de)產生(sheng)，廣泛(fan)應(ying)用于(yu)材料刻蝕(shi)、沉積(ji)和(he)離(li)子(zi)(zi)輔助沉積(ji)等領域(yu)。

2. 電容耦合（Capacitively Coupled Plasma, CCP）：

電(dian)(dian)容(rong)耦(ou)(ou)合(he)等離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)是通過交(jiao)變電(dian)(dian)場(chang)與等離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)的(de)(de)相互作用(yong)(yong)來(lai)傳遞能量(liang)的(de)(de)。在電(dian)(dian)容(rong)耦(ou)(ou)合(he)的(de)(de)過程中(zhong)，兩個(ge)電(dian)(dian)極之(zhi)間(jian)(jian)施加高頻交(jiao)變電(dian)(dian)壓，由于(yu)等離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)與電(dian)(dian)極之(zhi)間(jian)(jian)的(de)(de)電(dian)(dian)容(rong)效(xiao)應，導致等離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)內(nei)部產生高頻電(dian)(dian)場(chang)，從而(er)將能量(liang)傳遞給等離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)。這種方式(shi)的(de)(de)優點是結(jie)構簡(jian)單，能量(liang)傳遞相對低(di)效(xiao)，適用(yong)(yong)于(yu)低(di)密(mi)度的(de)(de)等離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)體(ti)產生，常用(yong)(yong)于(yu)等離(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)(zi)清洗(xi)、薄膜沉積等應用(yong)(yong)場(chang)景。

總結(jie)：

電(dian)感(gan)耦(ou)合(he)和電(dian)容(rong)耦(ou)合(he)的(de)主要(yao)區別在于能量(liang)傳遞(di)的(de)方(fang)式(shi)，電(dian)感(gan)耦(ou)合(he)通過高頻磁場(chang)(chang)傳遞(di)能量(liang)，適(shi)用(yong)于高密度(du)等(deng)離子(zi)體(ti)；而(er)電(dian)容(rong)耦(ou)合(he)通過交變電(dian)場(chang)(chang)傳遞(di)能量(liang)，適(shi)用(yong)于低密度(du)等(deng)離子(zi)體(ti)。根(gen)據實際應用(yong)場(chang)(chang)景和等(deng)離子(zi)體(ti)要(yao)求，可以選擇不(bu)同的(de)能量(liang)傳遞(di)方(fang)式(shi)。