探頭(tou)故障現(xian)象、原(yuan)因及(ji)排(pai)除方法

1、沉(chen)積期(qi)間厚度讀數大跳變

a. 不良晶(jing)片產(chan)生   解決方案：更換晶片

b. 晶(jing)片接近其使用壽命  解(jie)決方案：更換晶片

c. 晶片支(zhi)承座(zuo)表面(mian)有雜物   解(jie)決方(fang)案：用酒精(jing)或細砂皮清洗支承座(zuo)

d. 來(lai)自濺射源的頻率干涉   解決方案： 檢查接地，儀(yi)器遠離濺射(she)源

2、沉積期間晶(jing)體停振，但(dan)晶(jing)片壽命(ming)未到

a. 晶片被來自鍍膜源熔化材(cai)料小熔滴撞(zhuang)擊   解決方案：鍍膜起始(shi)階段用檔板遮蔽后(hou)移開

b. 不良晶片   解決方案： 更換晶片

c. 晶(jing)片(pian)支(zhi)承座內(nei)腔表面有雜(za)質   解(jie)決方(fang)案：清洗

3、晶體在真空中振(zhen)蕩，單暴露(lu)空氣后(hou)停振(zhen)

a.晶體接(jie)近(jin)使用(yong)壽命，暴露(lu)空氣導致薄膜氧化而(er)引起薄膜壓力增加   解決(jue)方案： 更換(huan)晶片

b. 晶片積累了過多水分   解決方案：暴(bao)露(lu)空氣之前關掉(diao)探頭(tou)冷卻水