質量流量計智能氣體配比器，可選配七(qi)星各(ge)種系列流量計，觸摸(mo)屏控(kong)制調節(jie)不同時間不同流量氣體，操(cao)控(kong)簡(jian)單，

CS300氣(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)控制(zhi)器是七星(xing)流(liu)量(liang)(liang)計(ji)專門為大(da)規(gui)模集成電路裝備設計(ji)的產(chan)(chan)品(pin)，該產(chan)(chan)品(pin)在原有CS200氣(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)上，采用了基(ji)于DF的壓力信號補小償算法，全量(liang)(liang)控制(zhi)器的基(ji)礎新(xin)的金屬表(biao)面處(chu)理工(gong)藝(yi)，產(chan)(chan)品(pin)各項(xiang)技術指(zhi)標(biao)均嚴格按照SEM標(biao)準，支(zhi)持Ⅵ型(xing)，C型(xing)GS氣(qi)路系統。

• 準確度采用設定點(dian)精度，產品精度可(ke)達(da)±1.0% S.P.，響應時(shi)間最(zui)快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chan)品可帶有壓力補(bu)償功能，對前段(duan)氣(qi)體壓力的(de)擾(rao)動進行有效的(de)補(bu)償，減(jian)少壓力變化對瞬時(shi)流量影響(xiang)，從而保證產(chan)品工作(zuo)的(de)穩(wen)定(ding)性(xing)和準確性(xing)。

質量流量計智能氣體配比器KT-C4ZS資料                                                                      ;              ;