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當前位置:首頁產品中心材料樣品檢測真空探針臺KT-0904T-R小型真空探針臺高溫熱臺

小型真空探針臺高溫熱臺

產品簡介

小(xiao)型真(zhen)空(kong)探針臺高溫(wen)(wen)熱臺KT-0904T-R主要用于為被(bei)測芯片(pian)(pian)提供一個高溫(wen)(wen)的變溫(wen)(wen)測量環境,以便測量分析溫(wen)(wen)度變化(hua)時(shi)芯片(pian)(pian)性能參數的變化(hua)。腔體內被(bei)測芯片(pian)(pian)在真(zhen)空(kong)環境中有效避免易受氧化(hua)半導體器件接觸空(kong)氣所帶來的測試(shi)結(jie)果(guo)誤差。

產品型號:KT-0904T-R
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
訪問量:1323
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品牌鄭科探

小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-R

高溫無氧化測試:
當晶圓(yuan)加(jia)熱至300,400,500甚至更(geng)高溫度時,氧化現象會
越來(lai)越明顯,并且(qie)溫度越高氧化越嚴(yan)重。過度氧化會導致(zhi)晶圓電性誤
差,物理(li)和(he)機械形(xing)變。避免這些需要把真空腔(qiang)內的氧氣(qi)在測試前用泵
抽(chou)走(zou),并且(qie)保持整個(ge)測(ce)(ce)試(shi)過(guo)程泵的運(yun)轉。晶圓測(ce)(ce)試(shi)過(guo)程中(zhong)溫度在低溫和高溫中(zhong)變換,因為熱脹冷縮現象,定(ding)位(wei)好的探針(zhen)(zhen)與器件電極間(jian)會有相對位(wei)移(yi),這時需要針(zhen)(zhen)座(zuo)的重新定(ding)位(wei),探針(zhen)(zhen)座(zuo)位(wei)于(yu)腔體外部(bu),可(ke)以(yi)在不破壞真空度的同時調(diao)整探針(zhen)(zhen)達到理想位(wei)置進行(xing)測(ce)(ce)量。我們也可(ke)以(yi)選擇(ze)使(shi)用操(cao)作桿控(kong)制的自動化(hua)針(zhen)(zhen)座(zuo)來調(diao)整探針(zhen)(zhen)的位(wei)置。



小型真空探針臺高溫熱臺KT-0904T-RL參數


真空腔體

類型

加熱型350   或者(zhe)加熱(re)制(zhi)冷型 室(shi)溫(wen)到350 室溫(wen)到-190

腔體(ti)材質

304不銹鋼

腔體內尺寸(cun)

φ90x40mm

腔體上(shang)視窗尺寸

Φ42mm(選配凹視(shi)窗Φ22mm

腔體(ti)抽氣口

KF16

腔(qiang)體進氣(qi)口

公制3mm 6mm氣(qi)管接頭 英(ying)制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選(xuan)

腔體(ti)(ti)出氣口

公制(zhi)3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可(ke)選(xuan)

腔體正壓(ya)

0.05MPa

腔體真(zhen)空(kong)度

機(ji)械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵(beng)≤5E-3Pa30分鐘)

樣品(pin)臺

樣品臺材(cai)質

304不銹鋼

樣品臺尺寸(cun)

26X26mm

樣品臺-視(shi)窗 距(ju)離

30mm(可(ke)選凹視窗間距(ju)15mm

樣品臺測(ce)溫傳感器(qi)

A    PT100鉑電阻(zu)

樣品臺(tai)溫度(du)

室溫(wen)到350℃(可選高低(di)溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃)

樣品臺(tai)測(ce)溫誤(wu)差(cha)

±0.2

樣品臺變(bian)溫速(su)率

高溫10/min   低(di)溫5/min  最大值

溫控儀

溫(wen)度顯示

7寸人機界(jie)面

溫(wen)控類型

標準PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)

溫度分辨率(lv)

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號輸入類型

PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電(dian)偶(ou))

溫控輸出

直流線性電(dian)源加熱(液(ye)氮(dan)流量線性控(kong)制(zhi)液(ye)氮(dan)制(zhi)冷)

輔助功能

溫(wen)度數(shu)據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線

探針

電信號接頭

配線轉接 BNC接(jie)頭 BNC三同軸接頭(tou) SMA 接頭 香蕉(jiao)插頭 線(xian)長(chang)1.2米(mi)

電學性能

絕緣電阻 4000MΩ     介(jie)質耐壓 200V    電流(liu)噪(zao)聲(sheng) 10pA

探(tan)針數量

4探針(可定做6探針)

探(tan)針材質

鍍金鎢(wu)針

探針尖

10μm

探針(zhen)移(yi)動平臺

X軸移動行程

12mm    ±6mm

X軸控(kong)制精(jing)度

5μm

Y軸移動行程

12mm    ±6mm

Y軸控制(zhi)精度

5μm

Z軸移動行程

12mm    ±6mm

Z軸控制精度

5μm

數碼(ma)顯微鏡

顯(xian)微(wei)鏡(jing)類別(bie)

物鏡(jing)放大+電子放(fang)大

顯微鏡放大倍數

100

顯(xian)微鏡工作間距

50-150mm

相機(ji)分辨率

1080P  60  

相機信號輸出

HDMI輸出+USB輸(shu)出

LED可(ke)調光源

LED光(guang)源

顯示屏

5 屏幕一(yi)體機(ji)


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