類型

高溫型室溫到400℃

高低溫型(xing) 室(shi)溫到(dao)400℃  室溫到-196℃

腔體材質

304不(bu)銹(xiu)鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺(chi)寸

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)(ti)外(wai)尺寸

150mmX80mmX32mm

腔(qiang)體重量

不(bu)銹鋼(gang)材質 約1.5KG     鋁合金材質 約0.5KG

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹(ao)視窗(chuang)用于減(jian)少窗(chuang)口(kou)和樣品之(zhi)間距離）

腔體(ti)抽氣口

KF16法(fa)蘭(lan)（其余(yu)接(jie)口規格可轉接(jie)）

腔體真空測量(liang)口

KF16法蘭（其余(yu)接(jie)口規格可轉接(jie)）

腔體進氣口

6mm快擰(ning) 或(huo) 6mm快插

腔體冷(leng)卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔(qiang)體水冷接(jie)口

腔體(ti)(ti)正壓

≤0.05MPa

腔體真(zhen)空度

機械(xie)泵(beng)≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質

不銹鋼 銀(yin)銅合金 純銀(yin)塊

銀銅合金 純銀塊

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方(fang)式

電阻(zu)加熱

電阻加熱 液氮制冷

樣品臺-視窗 距離

11mm（可選配凹(ao)視(shi)窗用于(yu)減少窗口和樣品(pin)之間(jian)距離到6mm）

樣(yang)品臺測溫傳感器

PT100型熱(re)電阻

樣品(pin)臺溫度

室溫到(dao)400℃

室溫(wen)到400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫誤(wu)差

±0.5℃

樣(yang)品臺(tai)升(sheng)溫速率

高(gao)溫100℃/min 最(zui)大值   低(di)溫7℃/min

溫控(kong)儀(yi)

溫度顯示

7寸人機(ji)界面(mian)

溫(wen)控類型

標(biao)準PID溫(wen)控 +自整定(ding)

溫度分辨(bian)率(lv)

0.1℃

溫控(kong)精度(du)

±0.5℃

溫(wen)度信號(hao)輸入類型

PT100 （可選K  S  B型熱電(dian)偶）

溫控輸出

直流線性(xing)電源加熱

直流(liu)線性(xing)電(dian)源加熱+液(ye)氮流速控制(zhi)器

輔助功(gong)能

溫度數(shu)據采(cai)集并(bing)導(dao)出 實(shi)時溫度曲線+歷史溫(wen)度曲線(xian) 可擴展真(zhen)空讀數接(jie)口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控(kong)器(qi)重(zhong)量

約(yue)5.6KG

探針

電信(xin)號接頭

配線轉接 BNC接頭   BNC三(san)同(tong)軸接頭  SMA 接頭(tou) 香蕉插頭 線長1.2米

電(dian)學性能

絕緣(yuan)電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓(ya) ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量

4探針（可(ke)擴展5探針(zhen)）

探針材質

鍍金(jin)鎢針 （其他(ta)材質可選(xuan)）

探針尖

10μm

手動探(tan)針移(yi)動平臺

X軸(zhou)移動行(xing)程

20mm    ±10mm（需手動(dong)推動(dong)滑臺）

X軸控制(zhi)精度(du)

≥500μm

R軸移動行程

120°    ±60°（需(xu)手動(dong)旋轉探針(zhen)桿）

R軸控制精度

≥500μm

Z軸移動行(xing)程

2mm    ±1mm

Z軸控制(zhi)精度(du)

≤50μm（需(xu)手動螺紋調節探針桿）