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產品簡介
小(xiao)型真空探針臺(tai)主要應用于半導體行(xing)業、光電(dian)行(xing)業、集成電(dian)路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高(gao)速器件的精密(mi)電(dian)氣測量的研發(fa)，旨(zhi)在確保質量及可靠性，并縮減研發(fa)時(shi)間(jian)和器件制造(zao)工藝的成本
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相(xiang)關文章| 品牌 | 鄭科探 |
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小型真空探針臺主要應(ying)用于半導體行業(ye)、光電行業(ye)、集成電路以及封裝的(de)測試。廣泛應(ying)用于復雜、高速(su)器件(jian)的(de)精密電氣測量的(de)研(yan)發，旨(zhi)在確保質量及可靠性(xing)，并縮減(jian)研(yan)發時(shi)間和器件(jian)制(zhi)造工藝的(de)成本
小型真空探針臺的承(cheng)片臺X/Y/Z三個方(fang)(fang)向(xiang)均可(ke)在(zai)真(zhen)空環境下調節(jie)，其中X方(fang)(fang)向(xiang)調節(jie)范圍(wei)：0－30mm；y方(fang)(fang)向(xiang)調節(jie)范圍(wei)：0－13mm；z方(fang)(fang)向(xiang)調節(jie)范圍(wei)：0－13mm；用(yong)戶可(ke)根據需要自行(xing)(xing)調節(jie)。使(shi)(shi)用(yong)時將需檢測(ce)(ce)的器件固定在(zai)加熱臺上(shang)，再微調探針支架X/Y/Z 方(fang)(fang)向(xiang)行(xing)(xing)程(cheng)，通過(guo)顯微鏡觀(guan)察，使(shi)(shi)探針對準(zhun)檢測(ce)(ce)點(dian)后，即可(ke)進(jin)行(xing)(xing)檢測(ce)(ce)。
實(shi)驗腔體 | |
腔(qiang)體材質 | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側開(kai) |
內腔體(ti)尺寸 | φ140x180 |
加熱(re)臺材質 | 304不(bu)銹鋼 |
觀察窗尺(chi)寸 | φ75 |
加熱臺尺寸 | 50x50 |
加熱(re)臺溫(wen)度 | 室溫-350℃可調 |
加(jia)熱臺溫控誤(wu)差 | ±1℃ |
真空度 | 機(ji)械泵(beng)≤10Pa 分子(zi)泵(beng)≤10-3Pa |
真空抽氣口(kou) | KF25 |
氣(qi)體進氣(qi)口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
進氣(qi)閥門 | 高精密針閥(fa) |
抽(chou)氣閥門(men) | KF25真(zhen)空擋板閥 |
壓力表(biao) | 機械壓力表(biao) -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個 |
探針(zhen)數量 | 4個 |
探針材質 | φ1.5鎢針 其他材質可選 |
探針移動平臺 | |
X軸(zhou)移(yi)動行(xing)程 | 30mm ±15mm |
X軸(zhou)控制精度 | ≤0.1MM |
Y軸移動行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制(zhi)精度(du) | ≤0.05MM |
Z軸移動行(xing)程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.05MM |
信號電極(ji) | |
電極芯(xin) | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線 | 銅網(wang)信號(hao)屏蔽線 |
BNC引出接頭 | X4 |
額定電(dian)流 | ≤5A |
額定電(dian)壓 | ≤220V |
電極芯直徑 | φ1mm |
接觸電阻 | ≤5MΩ |
絕緣(yuan)電阻 | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電子顯微鏡 | |
電子顯微鏡根據客戶(hu)需(xu)要配置不(bu)同倍率 請和客服溝通 | |
做(zuo)氣體(ti)傳感器(qi)的(de)(de)客戶可(ke)以選(xuan)擇本(ben)公司的(de)(de)多通道智能氣體(ti)配比系統
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