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微型真(zhen)(zhen)(zhen)空探(tan)(tan)針臺設計有進氣口和抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)空接口其真(zhen)(zhen)(zhen)空度用(yong)機械泵(beng)(beng)可達＜5Pa分(fen)子(zi)泵(beng)(beng)可達＜-3Pa。真(zhen)(zhen)(zhen)空信號(hao)(hao)連(lian)接處(chu)(chu)使用(yong)高級真(zhen)(zhen)(zhen)空電(dian)極信號(hao)(hao)接頭，保證氣密(mi)性及抗干擾性能。使用(yong)時將需將待檢測的器(qi)件方(fang)在(zai)加熱臺面，探(tan)(tan)針尖處(chu)(chu)由3軸(zhou)可移動探(tan)(tan)針手動調節移動至被測試器(qi)件的引腳處(chu)(chu)，外部信號(hao)(hao)線連(lian)接測試儀器(qi)來(lai)測試電(dian)學信號(hao)(hao)。

氣(qi)體(ti)(ti)溫度控制儀的氣(qi)體(ti)(ti)從(cong)腔體(ti)(ti)底(di)部(bu)向上經分(fen)布器(qi)以氣(qi)泡形式通過液(ye)層，氣(qi)相(xiang)(xiang)中的反應(ying)物溶(rong)入液(ye)相(xiang)(xiang)并進行反應(ying)，氣(qi)泡的攪拌作用(yong)可(ke)使液(ye)相(xiang)(xiang)充(chong)分(fen)混合。鼓(gu)泡塔結(jie)構簡單，沒有運動部(bu)件，適用(yong)于氣(qi)體(ti)(ti)加濕，氣(qi)液(ye)反應(ying)。

超(chao)低溫(wen)真(zhen)空(kong)半導體制冷臺(tai)(tai)主要用于(yu)氣(qi)體敏感(gan)材(cai)料或其(qi)他對(dui)環境敏感(gan)性(xing)材(cai)料中的電(dian)信(xin)號測(ce)試。測(ce)試腔體內部裝有不銹(xiu)鋼(gang)加(jia)熱(re)承載臺(tai)(tai)，臺(tai)(tai)面為φ30，臺(tai)(tai)面可升溫(wen)到400℃。臺(tai)(tai)面四周(zhou)裝有微型3軸(zhou)可移(yi)動鎢(wu)鋼(gang)探(tan)針(zhen)，特(te)別(bie)適合(he)微小未封裝的叉指電(dian)極等傳感(gan)器測(ce)試。

真(zhen)空加熱腔體(ti)主(zhu)要用于氣體(ti)敏(min)感(gan)(gan)材(cai)料或(huo)其他對環(huan)境敏(min)感(gan)(gan)性(xing)材(cai)料中的電(dian)信號測(ce)(ce)試(shi)。測(ce)(ce)試(shi)腔體(ti)內部裝有不(bu)銹(xiu)鋼加熱承載(zai)臺(tai)，臺(tai)面為50x50mm，臺(tai)面高可升(sheng)溫到高350℃。

高低溫真(zhen)空探針(zhen)臺(tai)(tai)KT-Z160T-RL，真(zhen)空高低溫探針(zhen)臺(tai)(tai)系統，使用國(guo)際上*溫度(du)(du)控制(zhi)系統和傳(chuan)感器，溫度(du)(du)范圍(wei)為(wei)77.15K至673.15K（-196攝氏(shi)度(du)(du)到(dao)400攝氏(shi)度(du)(du)），溫度(du)(du)穩定性可達0.1K。