等離子清洗機(ji)的(de)優勢：

1：真空度：用皮拉尼原理測量精確到Pa，千(qian)帕是用壓(ya)力規測(ce)試，不是(shi)一個量級的。

2：傳感(gan)(gan)器：用的進口的氣(qi)體(ti)流量(liang)傳感(gan)(gan)器，是(shi)質量(liang)流量(liang)計(ji)檢(jian)測氣(qi)體(ti)，精確度是(shi)通入流量(liang)的±1.5%。浮(fu)子(zi)流量(liang)計(ji)，是(shi)滿量(liang)程的4%，而且浮(fu)子(zi)球是(shi)上下浮(fu)動，手碰(peng)一下亂跑，真實(shi)效(xiao)果(guo)達(da)不了那么高(gao)。

4：功率是150W，國內(nei)都是統(tong)一的。

5：2路流量(liang)計(ji)，質量(liang)流量(liang)計(ji)采集更精準，流量(liang)控制 2個精密針(zhen)閥(fa)調節，線性調節度較(jiao)好。

6： 真(zhen)空采(cai)集皮(pi)拉(la)尼原理真(zhen)空計，測量大氣壓到0.1Pa的絕對(dui)真(zhen)空。   

7： 通過精準(zhun)的流量(liang)檢測及真(zhen)空采集 使自(zi)動(dong)(dong)控制一氣呵成(cheng)，通過檢測固定(ding)的真(zhen)空值讓射頻(pin)輝(hui)光，即使是手動(dong)(dong)匹(pi)配射頻(pin)電源，也只(zhi)需(xu)要匹(pi)配一次，下次相同工藝，基本不需(xu)要再次調節匹(pi)配 。

問：清(qing)洗光刻(ke)膠可以嗎(ma)？

答：簡單的(de)理解就是(shi)用氧(yang)氣(qi)把光(guang)(guang)刻膠(jiao)燃燒掉(diao)，光(guang)(guang)刻膠(jiao)的(de)基本成分是(shi)碳氫(qing)有機物，在(zai)射頻(pin)或微波作用下，氧(yang)氣(qi)電離成氧(yang)原子并(bing)與光(guang)(guang)刻膠(jiao)發(fa)生化(hua)學反應，生成一(yi)氧(yang)化(hua)碳，二氧(yang)化(hua)碳和水等，再通過泵被真空抽走(zou)，完(wan)成光(guang)(guang)刻膠(jiao)的(de)去(qu)除。

問：可以(yi)去(qu)除表面雜質和一些膠嘛？

答：這個就是(shi)清(qing)洗半(ban)導體(ti)芯片表面纏雜的膠(jiao)和雜質，可以去除納米級別的微小的膠(jiao)和其(qi)它顆(ke)粒或者薄膜(mo)。

問：操作方便嘛

答：操作(zuo)很(hen)方便。開關打開后，石英(ying)腔體抽真(zhen)空，然后產生等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)，等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)和(he)表面的污染物(wu)產生反應，產生廢氣，真(zhen)空泵把廢氣抽走(zou)，等(deng)(deng)離(li)子(zi)(zi)清洗(xi)機里面有(you)一個托(tuo)盤，咱們把產品放托(tuo)盤上(shang)面，就(jiu)可以(yi)清洗(xi)了。