真空度顯示：顯示腔(qiang)體內部(bu)的真空度數值(zhi)

運(yun)行程序段：分為3個步驟，綠色表示運行狀態

①真空泵啟動②射頻電源打開③放氣

進(jin)氣流量(liang)顯示：通過調節A、B流量調節閥調節氣體進入腔體的大小，在兩個圖標顯示，上部顯示為A流量，下部顯示為B流量

時間：顯示(shi)設備清洗(xi)時間

功率:顯示當前設備清(qing)洗是清(qing)洗功率

設備溫(wen)度：顯示當前(qian)射頻電源設備溫度

放氣(qi)狀態：顯示(shi)當前放氣(qi)閥開啟或關閉狀(zhuang)態

清洗時間：點擊可(ke)設置設備(bei)運(yun)行(xing)清洗時間

清洗(xi)功率：點擊可設置設備運行(xing)清(qing)洗功率

開始運行：點擊可切換設備開始運(yun)(yun)行或者停止(zhi)運(yun)(yun)行

參數設置：非專(zhuan)業人(ren)士請勿調節，如有需要(yao)請聯系(xi)廠家人(ren)員

射頻電源開關：按下產品前面板左邊的電源按鈕  此時產品通電啟動 液晶顯示屏點亮， 顯示啟動界面 2 秒，然后進入相應工作狀態顯示界面。在按一下則關閉射頻電源。

功率(lv)調節(jie)旋鈕：射頻功率調節，通過旋轉前面板上的功率設置旋鈕來增加或減小功率水平（順時針 旋轉為增加功率，逆時針旋轉為減小功率）。

射頻輸出的開啟和關閉：按下前面板上的射頻輸出 開【藍(lan)色按鈕】 打開射頻輸(shu)出，同時定時器開始倒計時； 按下射頻(pin)輸(shu)出(chu) 關【紅色按鈕】 關閉射頻(pin)輸出。

調(diao)節功率設置旋鈕：顯示內(nei)容“Wf"前的數值會發生相應的變化，此 時的數值為功率設定值；當按下(xia)射(she)頻輸出 開【藍色按鈕】開啟射頻(pin)時，“RF OFF"將變成“Wr"，Wf 前的數值也會從 0 上升，當然 Wr 前的數值也(ye)會根據負載情況發生相應(ying)的變化,如果射頻電源的后(hou)端負載為 50 歐(ou)時(shi)，Wr 前的數值將為 0，即(ji)此時射頻(pin)輸出無反射功率(lv)；否則，Wr 前數值將根據(ju)負載情況顯示相應的反射功率值。

手(shou)動匹配(pei)器：通過調(diao)節前(qian)面板上的(de)【MATCH】控制(zhi)區的【TUNE】和【LOAD】旋鈕實現匹配器的手 動匹配，反射功率減低到 0W。

【MATCH】控制             【最大反射】指示                      【手(shou)動匹配】指示

 手動調節【TUNE】和【LOAD】旋鈕 調節【TUNE】旋(xuan)鈕，如(ru)果 Wf 數值增加，證明調節(jie)的百分比方向正確，否則(ze)往相反的方向調節；到 Wf 數(shu)值到達設置最大值，通過微調兩個旋鈕(niu)，實現 Wr 數值減低； b．調(diao)節【LOAD】旋(xuan)鈕的方法同理。（通過兩個旋鈕調節觀察Wf值根據旋鈕調節變大  Wr值根據旋鈕調節變小）

2、軟件語(yu)言選擇

按下前(qian)面板上的【MENU】鍵進入主菜單(dan)中，通過前面板(ban)上的(de)【UP】或(huo)【DOWN】鍵(jian)

選中主菜單(dan)中的第 1 項“Lang./語言(yan)"并按下【MENU】鍵確認，進入子菜單(dan)選中(zhong)“English"

或“中文"并按【MENU】鍵確認即可切(qie)換相應的語言