類(lei)型

高溫型室溫到(dao)400℃

高低溫(wen)型(xing) 室(shi)溫到(dao)(dao)400℃    室(shi)溫到(dao)(dao)-196℃

腔(qiang)體材質

304不銹鋼 6061鋁合金 可選

腔體內尺寸(cun)

127mmX57mmX20mm

腔體(ti)外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔體重量

不銹鋼材質 約(yue)1.5KG     鋁合金材質 約(yue)0.5KG

腔體上視窗(chuang)尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口(kou)和樣品之間距離(li)）

腔(qiang)體(ti)抽(chou)氣口

KF16法蘭（其余接口(kou)規格(ge)可轉(zhuan)接）

腔體真空(kong)測量口

KF16法蘭（其余接(jie)口規格可轉接(jie)）

腔(qiang)體進氣口

6mm快擰 或 6mm快插

腔(qiang)體冷卻方(fang)式

腔體水冷(leng)(leng)+上蓋氣(qi)冷(leng)(leng)

腔體(ti)水(shui)冷接(jie)口(kou)

腔(qiang)體正(zheng)壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品(pin)臺

樣品臺材質

不銹鋼(gang) 銀(yin)銅合金 純銀(yin)塊

銀銅合金 純銀塊

樣品(pin)臺(tai)尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加(jia)熱

電阻加熱 液氮制冷(leng)

樣品臺-視窗(chuang) 距離

11mm（可選配凹視窗(chuang)用(yong)于(yu)減少窗(chuang)口和(he)樣(yang)品之(zhi)間距離到6mm）

樣品臺測(ce)溫傳(chuan)感器

PT100型熱電阻

樣品(pin)臺溫度

室(shi)溫到400℃

室溫到400℃  室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差(cha)

±0.5℃

樣品臺升溫(wen)速率

高溫100℃/min 最大值     低溫7℃/min

溫(wen)控儀(yi)

溫度顯(xian)示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自(zi)整定

溫度(du)分辨率

0.1℃

溫控(kong)精度

±0.5℃

溫度信號(hao)輸入(ru)類型

PT100   （可選K  S  B型熱電偶）

溫控輸出(chu)

直(zhi)流線性(xing)電(dian)源加熱

直流線性(xing)電源加熱+液氮流速控制器(qi)

輔助功能

溫度(du)數據采集并導出(chu) 實時溫度(du)曲線+歷史溫度(du)曲線 可擴展真空(kong)讀數接口

溫控(kong)器(qi)尺寸(cun)

32cmX170cmX380cm

溫控器(qi)重量(liang)

約5.6KG

探針

電信號接頭

配線(xian)(xian)轉(zhuan)接(jie) BNC接(jie)頭   BNC三(san)同軸接(jie)頭  SMA 接(jie)頭 香(xiang)蕉插頭 線(xian)(xian)長1.2米

電學性能(neng)

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質耐壓(ya) ≤200V    電(dian)流(liu)噪聲 ≤10pA

探針數(shu)量

4探針(zhen)（可擴展5探針(zhen)）

探針材質

鍍金鎢針 （其他材質可選）

探針尖

10μm

手動(dong)探針移動(dong)平(ping)臺

X軸移動(dong)行程

20mm      ±10mm（需手(shou)動推動滑臺）

X軸控制精度

≥500μm

R軸移動行程

120°      ±60°（需手動旋轉探針(zhen)桿）

R軸控制(zhi)精度

≥500μm

Z軸移動(dong)行程

2mm      ±1mm

Z軸控制精度

≤50μm（需手動(dong)螺紋調節探針桿）